低负压泵保护装置如负压泵输料、负压泵浸渍、负压泵滤出、负压泵单薄、负压泵脱气（钢水外理）等要求体现了业务压差高、排气管量大的低负压泵泵抽气机柜，这些低负压泵抽气机柜主泵实用往返式负压泵泵、油封式负压泵泵、水液体牵扯泵、水环泵、罗茨泵等。运行的低负压泵抽气机柜还需可根据被抽有害气体保洁数量、含水率或许多个性化要求，系统配置有必要的的降尘器、单薄罐等构件。 水水汽在收缩流程中会沉淀成水珠，并与泵相溶包含飘浮液，不只会使进口真空度度飞机起飞，也要使泵腔与电机定转子锈了，损伤胶封面，使泵的极限值进口真空度度飞机起飞。故，放到水水汽对机泵的严重污染是非常重要的要。放到的错施有： （1 ）适用帶有气镇系统的油封机制泵； （2 ）装油区别为器、离心分离式区别为器或油脂区别为器，将含有水的机戒泵油合同解除加工，加工过的油再流进泵中选用； （3 ）运营吸湿性强的单调函数剂； （4 ）运作液氮冷阱，不只能有效果地吸附物水气体，同一还不错阻饶机械设备泵油向高真空系统室返流。

油扩散泵真空系统污染与防治
油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统，其获得真空度范围为1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期运用后，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关，防止的办法是：

（1 ）按时除污涡流室； （2 ）开展对油封机械制造真空室泵和油金属材料散出泵合同解除刷洗。