低蒸空室体控制系统如蒸空室体运送、蒸空室体浸渍、蒸空室体过滤程序、蒸空室体连续函数性、蒸空室体脱气（钢水妥善处理）等请求拥有工作中压强高、改装排气管量大的低蒸空室体泵抽气空气能热泵设备，同类低蒸空室体抽气空气能热泵设备主泵经常使用往复运动式蒸空室体泵、油封式蒸空室体泵、水水珠放射性泵、水环泵、罗茨泵等。运营的低蒸空室体抽气空气能热泵设备还需按照被抽气物洁净因素、气温或其它的异常请求，选配需要的除尘系统器、连续函数性罐等机件。 水水汽在紧绷时候中会缓凝成雨滴，并与泵混合型产生自动隐藏液，不只会使机制泵箱度着陆，同时也能使泵腔与滑片生了锈，损害密封盖面，使泵的终极机制泵箱度着陆。因为这，阻止水水汽对机制泵的被污染的较重要。阻止的具体措施有： （1 ）用带异气镇配置的油封机制泵； （2 ）装油分別器、离心力式分別器或水油分別器，将沾有水的机诫泵油停止处理，处理过的油再流入量泵中用到； （3 ）相结合吸湿性强的连续函数剂； （4 ）使用液氮冷阱，不只能有效地地降解水气体，时候还就能够阻饶机械厂泵油向高重力作用室返流。

油扩散泵真空系统污染与防治
油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统，其获得真空度范围为1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期运用后，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关，防止的办法是：

（1 ）定时洗真空室室； （2 ）定期进行对油封机诫机械泵泵和油金属材料对外扩散泵暂缓擦拭。